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公开资料显示， ASML Holding N.V. 为半导体业的全球领先供应商之一，向全球芯片制造商提供硬件、软件及服务。 AMSL在光刻机市场占有高达80%的市场份额。此次与中芯国际签订购买单的阿斯麦上海是 ASML Holding N.V. 的附属公司。

3月1日，有媒体报道，为中芯国际提供高制程（14nm及以上）工艺部分产品所需设备的美国设备商，已获得美国商务部下发的出货许可证，该批次与中芯国际部分成熟制程工艺设备供应商也在同次获批。

据了解，中芯国际曾以1.5亿美元的价格向荷兰阿斯麦订购了一台最新型的EUV光刻机。一般来说，根据日内瓦协议，本应在2019年初交付的EUV光刻机最终由于美国方面阻扰，未成功交付。另外，去年年底，美国商务部正式将中芯国际列入“实体清单”，供应商需取得额外许可证才能继续为中芯国际提供技术或产品。如今，美国政府放宽成熟制程的出口禁令，有业者指出，在美国政府放宽成熟制程的出口禁令之后，“除EUV光刻机外，中芯国际几乎可以买到AMSL所生产的全部制造设备”。 

不过，中芯国际方面澄清，此次签订的购买单只与其与ASML的现有DUV光刻技术协议相关。